Kính hiển vi cực tím

Kính hiển vi tia cực tím (UV) được phát triển vào đầu thế kỷ 20 bởi các nhà khoa học Đức August Köhler và Moritz von Rohr. Do ánh sáng UV có bước sóng ngắn hơn nên có thể có độ phân giải cao hơn, nhưng độ mờ của thấu kính thủy tinh thông thường đối với các bước sóng này đòi hỏi phải sử dụng kính hiển vi phản xạ hoặc thấu kính thạch anh được chế tạo đặc biệt . Kính hiển vi UV trở nên được sử dụng rộng rãi nhất cho kính hiển vi huỳnh quang, trong đó tia UV làm cho kính hiển vi phát quang vết ố. Trong kính hiển vi hiện đại, các loại đèn có dải từ xanh dương đậm đến gần UV thường được sử dụng cho mục đích này hơn. Tuy nhiên, sự quan tâm đến UV dẫn đến sự công nhận rằng chùm điện tử có thể được sử dụng như một ánh sáng có bước sóng rất ngắn, và chính điều này đã làm nảy sinh sự quan tâm đếnkính hiển vi điện tử .